【三星已经部署了首台高数值孔径High-NA极紫外光刻设备】《科创板日报》7日讯,三星于今年3月安装了首台高数值孔径(High-NA)EUV(极紫外光刻)设备,用于1.4纳米芯片的生产。三星在开发并最终量产2纳米以下晶圆时,
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