近日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所蔡艳研究员团队与欧欣研究员团队合作,通过“万能离子刀”剥离转移技术在六吋图形化SiN晶圆上集成了高质量的铌酸锂薄膜,并通过晶圆级工艺制备出具备高速数据传输
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