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璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机,支持<10nm 线宽 | #交付 #中国 #首台 #半导体 #步进 #纳米 #压印 #光刻机 #支持 #10nm #线宽

璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机,支持<10nm 线宽

璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机,支持<10nm 线宽

IT之家 8 月 5 日消息,璞璘科技 PRINANO 今日宣布其在 8 月 1 日成功向一家国内特色工艺客户交付其自主研发的中国首台半导体级步进式纳米压印光刻 (NIL) 系统 PL-SR。 璞璘在 PL-SR 系列设备上成功攻克喷墨涂胶工艺多项技术